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準(zhǔn)分子激光退火設(shè)備 （ELA：excimer laser annealing）是 生產(chǎn) TFT-LCD / OLED 的關(guān)鍵設(shè)備之一。
DUKIN最早將空氣軸承技術(shù)應(yīng)用到該領(lǐng)域
DUKIN獨(dú)立開(kāi)了ELA系統(tǒng)的軟件、機(jī)臺(tái)、控制，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)進(jìn)程，工藝數(shù)據(jù)的管理并可以迅速響應(yīng)客戶的訂制需求。
Excimer Laser Annealing，即準(zhǔn)分子激光退火設(shè)備。是 生產(chǎn) TFT-LCD / OLED 的關(guān)鍵設(shè)備之一。
用準(zhǔn)分子激光作為熱源，激光經(jīng)過(guò)透射系統(tǒng)后，會(huì)產(chǎn)生能量均勻分布的激光束并被投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上，當(dāng)非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板吸收準(zhǔn)分子激光的能量后，就會(huì)轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu)。
