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準(zhǔn)分子激光晶化設(shè)備交付,助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

發(fā)布時(shí)間:2020-11-26 類(lèi)別 : 公司新聞

ELA : Excimer Laser Annealing,即準(zhǔn)分子激光退火。是高端面板制造不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備??梢詫@示屏玻璃基板的非晶硅材料(a-Si)轉(zhuǎn)化為低溫多晶硅材料(LTPS)。從而大大提高電子的遷移率。

本次交付的設(shè)備,為湖北地區(qū)第三臺(tái)ELA設(shè)備,該設(shè)備將主要應(yīng)用于顯示面板的研發(fā)。德仁的工程師也將常駐湖北,助力該企業(yè)的技術(shù)研發(fā)。

ELA主體 chamber搬入

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激光器搬入

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開(kāi)通特氣

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